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MYW10 प्लाज्मा प्रणाली अत्यधिक लचीली, उच्च-थ्रूपुट वेफर सतह उपचार प्रक्रिया प्रदान करती है।
• वायुमंडलीय दबाव आर्गन प्लाज्मा प्रणाली
• 100 मिमी-चौड़ा इनलाइन प्लाज्मा बैच प्रसंस्करण; पारंपरिक तरीकों की तुलना में 2-5 गुना अधिक दक्षता और 30% से अधिक कम परिचालन लागत प्रदान करता है
• 100% तटस्थ प्लाज्मा; संवेदनशील इलेक्ट्रॉनिक घटकों पर सुरक्षित और सौम्य - कोई प्लाज्मा बमबारी, स्थैतिक बिजली, चिंगारी, भड़कना, धूल, उच्च गर्मी, सतह तरंग या यूवी विकिरण नहीं, जिससे उत्पाद को शून्य क्षति सुनिश्चित होती है।
• बहुमुखी रासायनिक प्रक्रियाएं: कार्बनिक संदूषकों को हटाने के लिए O2 प्रक्रिया; धातु ऑक्साइड को हटाने और उत्पाद सतहों को सक्रिय करने के लिए H2 प्रक्रिया
• वेफर पर कोई कण संदूषण या सतह खुरदरापन में परिवर्तन नहीं होता है
• वेफर और टेप फ्रेम उत्पादन दोनों के साथ संगत, दोनों के बीच तेजी से स्विच करने की अनुमति देता है
• कक्षा 10 के क्लीनरूम और सेमी मानकों को पूरा करता है
| बुनियादी पैरामीटर | MYW10 |
| बिजली की आवश्यकताएं | एसी 380V, 13kW, 20A, 50/60Hz |
| वायुदाब आवश्यकताएँ | 90psi (6बार) |
| DIMENSIONS | 2000 x 2800 x 2200 मिमी |
| वज़न | 2200 किग्रा |
| प्रमाणन मानक | सेमी S2/S6/S8 |
| स्थिति निर्धारण सटीकता | XY: ±20 µm @ 3σ; Z: ±10 µm @ 3σ |
| XYZ-अक्ष पुनरावृत्ति | XY: ±10 µm @ 3σ; Z: ±5 µm @ 3σ |
| अधिकतम गति | 1000 मिमी/सेकेंड (XY) |
| त्वरण | 1.0 ग्रा |
| ड्राइव सिस्टम | एसी सर्वो |
| कार्य मंच विशिष्टताएँ | |
| लोडिंग/अनलोडिंग विधि | ओएचटी + लोड पोर्ट + रोबोटिक आर्म |
| रोबोटिक आर्म पेलोड | 3 किग्रा |
| संगत वेफर आकार | 12-इंच (300 मिमी) |
| सॉफ्टवेयर ऑपरेटिंग सिस्टम | विंडोज 10 |
| एक्स/वाई यात्रा | 400 मिमी / 500 मिमी |
| जेड-एक्सिस यात्रा | 20 मिमी |
| संचार प्रोटोकॉल | एसईसीएस/जीईएम |
| परिचयाीलन की रेंज | |
| प्लाज्मा उपचार क्षेत्र (डब्ल्यू×डी) | 300×300मिमी |
| उपचार के बाद जल संपर्क कोण (डब्ल्यूसीए) | डब्ल्यूसीए <10° (सिलिकॉन वेफर) |
| प्लाज्मा उपचार विधि | कार्बनिक संदूषक हटाने के लिए O2 प्रक्रिया धातु ऑक्साइड हटाने के लिए H2 प्रक्रिया |
| प्लाज्मा सिस्टम आवश्यकताएँ | |
| आरएफ़ पावर | 27.12 मेगाहर्ट्ज पर 600W |
| मुख्य प्लाज्मा गैस | आर्गन |
| प्रक्रिया गैस | O2, N2, या H2 |
| गैस आपूर्ति दबाव रेंज | 40-100 पीएसआई (0.3-0.7 एमपीए) |
पता
5वीं मंजिल, बिल्डिंग 2, नंबर 182, चांगान शीआन रोड, चांगान टाउन, डोंगगुआन, गुआंग्डोंग प्रांत, चीन।
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