मार्च एपी बैच श्रृंखला

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सिंहावलोकन

एपी श्रृंखला प्लाज्मा उपचार प्रणालियाँ प्लाज्मा सफाई, सतह सक्रियण और आसंजन सुधार सहित अनुप्रयोगों की एक विस्तृत श्रृंखला के लिए उपयुक्त हैं। ये सिस्टम सेमीकंडक्टर विनिर्माण, माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स पैकेजिंग और असेंबली, और चिकित्सा और जीवन विज्ञान उपकरणों के उत्पादन जैसे क्षेत्रों में सेवा प्रदान करते हैं। एपी श्रृंखला में चार बैच प्लाज्मा प्रोसेसिंग सिस्टम शामिल हैं, जो अनुसंधान एवं विकास वातावरण से लेकर उत्पादन के विभिन्न स्तरों तक ग्राहकों की जरूरतों को समायोजित करने के लिए छोटे, मध्यम और बड़े वैक्यूम चैम्बर विकल्प प्रदान करते हैं।

प्लाज्मा उपचार प्रणालियों की विशेषताएं और लाभ

● टचस्क्रीन इंटरफ़ेस के साथ पीएलसी नियंत्रक एक सहज ग्राफिकल डिस्प्ले और वास्तविक समय प्रक्रिया निगरानी प्रदान करता है

● लचीला शेल्फ डिज़ाइन प्रत्यक्ष या डाउनस्ट्रीम प्लाज्मा मोड में विभिन्न भाग वाहकों के प्रसंस्करण की अनुमति देता है

● स्वचालित प्रतिबाधा मिलान के साथ 13.56 मेगाहर्ट्ज आरएफ जनरेटर बेजोड़ प्रक्रिया प्रतिलिपि प्रस्तुत करने योग्यता सुनिश्चित करता है

● मालिकाना सॉफ्टवेयर नियंत्रण प्रणाली सांख्यिकीय प्रक्रिया नियंत्रण (एसपीसी) के लिए प्रक्रिया और उत्पादन डेटा उत्पन्न करती है।

● बैच-शैली संचालन; प्रत्येक इकाई पूरी तरह से आत्मनिर्भर है और इसके लिए न्यूनतम फर्श स्थान की आवश्यकता होती है

● पंप, चैम्बर, नियंत्रण इलेक्ट्रॉनिक्स, और 13.56 मेगाहर्ट्ज आरएफ जनरेटर सभी एक ही घेरे में रखे गए हैं

प्लाज्मा उपचार प्रणाली मॉडल और विन्यास

एपी-600 और एपी-300 बेंचटॉप प्लाज्मा उपचार प्रणाली:एपी-300 और एपी-600 प्लाज्मा उपचार प्रणालियाँ बेंचटॉप इकाइयाँ हैं जो पूरी तरह से आत्मनिर्भर हैं और उन्हें न्यूनतम कार्यक्षेत्र स्थान की आवश्यकता होती है। सिस्टम चेसिस में प्लाज्मा चैंबर, नियंत्रण इलेक्ट्रॉनिक्स, एक 13.56 मेगाहर्ट्ज आरएफ जनरेटर और एक स्वचालित चैंबर मिलान नेटवर्क (केवल वैक्यूम पंप बाहरी रूप से स्थित है) होता है। रखरखाव की पहुंच इंटरलॉक किए गए दरवाजों या हटाने योग्य पैनलों के माध्यम से प्रदान की जाती है। प्लाज़्मा कक्ष पत्रिकाओं, ट्रे और वेफर नौकाओं सहित विभिन्न भागों, असेंबली और वाहक को समायोजित करने के लिए सात हटाने योग्य और समायोज्य संचालित या ग्राउंडेड अलमारियों का समर्थन करता है। वैक्यूम प्लाज्मा प्रसंस्करण प्रणाली आर्गन, ऑक्सीजन, हाइड्रोजन, हीलियम और फ्लोरिनेटेड गैसों सहित प्रक्रिया गैसों की एक विस्तृत श्रृंखला को समायोजित करती है। दोनों मॉडल इष्टतम गैस नियंत्रण के लिए दो (2) द्रव्यमान प्रवाह नियंत्रकों के साथ मानक आते हैं, दो (2) अतिरिक्त इकाइयाँ विकल्प के रूप में उपलब्ध हैं (कुल चार तक)। सुविधाजनक उपयोगिता कनेक्शन सत्यापन प्रक्रियाओं के दौरान आवश्यक आवधिक अंशांकन की सुविधा प्रदान करते हैं।

AP-1000 प्लाज्मा प्रसंस्करण प्रणाली:AP-1000 प्लेटफ़ॉर्म पूर्ण फ्रंट एक्सेस की अनुमति देता है, जिससे सभी आंतरिक घटकों के आसान संचालन और रखरखाव की सुविधा मिलती है। आसानी से हटाने के लिए पंप को कैस्टर पर लगाया गया है। प्लाज्मा कक्ष का निर्माण 11-गेज स्टेनलेस स्टील से एल्यूमीनियम फिक्स्चर के साथ किया गया है, जो असाधारण स्थायित्व सुनिश्चित करता है। चैम्बर में पत्रिकाओं, ट्रे, वेफर्स और वेफर नौकाओं सहित विभिन्न भाग वाहकों को समायोजित करने के लिए कई हटाने योग्य और समायोज्य अलमारियों की सुविधा है। वैकल्पिक HTP (हाई थ्रूपुट) अलमारियों से सुसज्जित, AP-1000 प्लाज्मा प्रसंस्करण प्रणाली AP-1000 प्लेटफॉर्म की विश्वसनीयता और प्रक्रिया गुणवत्ता को Nordson MARCH के अद्वितीय शेल्फ डिजाइन के सिद्ध लाभों के साथ जोड़ती है। एपी-1000 एचटीपी आरएफ प्लाज्मा के भीतर प्रतिक्रियाशील आयनों के उपयोग को अनुकूलित करता है, चक्र समय को कम करते हुए प्रसंस्करण एकरूपता को बढ़ाता है। AP-1000 HTP प्रणाली आर्गन, हाइड्रोजन और हीलियम जैसी कई प्रक्रिया गैसों का समर्थन करती है। इष्टतम गैस नियंत्रण सुनिश्चित करने के लिए यह चार गैस द्रव्यमान प्रवाह नियंत्रकों के साथ मानक आता है। स्लॉटेड पत्रिकाएँ कक्ष के भीतर लंबवत स्थित होती हैं।

इसके अतिरिक्त, स्लॉटेड पत्रिकाओं को कक्ष के अंदर लंबवत रखा जा सकता है। आमतौर पर, प्रत्येक पत्रिका में कम से कम 20 लीड फ़्रेम होते हैं। AP-1000 प्लाज़्मा चैम्बर पत्रिका के आकार के आधार पर 12 पत्रिकाओं को समायोजित कर सकता है।